1200C Sistema PECVD ta' Tliet Żoni ta' Tisħin
1200C Sistema PECVD ta' Tliet Żoni ta' Tisħin

1200C Sistema PECVD ta' Tliet Żoni ta' Tisħin

SK2-CVD-12TPB4 huwa forn tubu għas-sistema PECVD, li jikkonsisti minn provvista ta 'enerġija RF ta' 300W jew 500W, sistema ta 'fluss ta' preċiżjoni b'ħafna kanali, sistema ta 'vakwu, u forn ta' tubi. It-temperatura użata komunement hija 1100 grad Celsius jew inqas, u l-karatteristiċi ewlenin tagħha huma temperatura baxxa ta 'depożizzjoni, rata mgħaġġla, kwalità tajba tal-film, inqas pinholes, u inqas suxxettibbli għall-qsim. Apparat ideali għat-tkabbir tan-nanowires jew it-tħejjija ta 'films irqaq varji bl-użu tal-metodu CVD.
Ibgħat l-inkjesta
Karatteristika

 

● Temperatura massima RT-1200 grad

● Tip maqsuma ta 'forn, tista' tiftaħ il-forn.

● Jista 'jintroduċi aktar minn 2 kanali ta' gass, bi grad ta 'vakwu ta' 10Pa bl-użu ta 'pompa mekkanika u provvista ta' enerġija RF 500W biex ittejjeb is-sinjal.

● Materjali ta 'insulazzjoni tal-fibra taċ-ċeramika ta' l-alumina ta 'prestazzjoni ta' kwalità għolja

● Preċiżjoni tal-kontroll tat-temperatura ± 1 grad

● B'funzjoni ta 'allarm ta' temperatura żejda

● Fann li jkessaħ jista 'jnaqqas it-temperatura tal-kisi

 

Mudell

SK2-CVD-12TPB4

Dimensjonijiet: Tul standard taż-żona tat-tisħin (mm)

440mm

Dimensjonijiet: Dijametru Standard tat-Tubu (mm)

∮60mm

Max.temperature

1200 grad, temperatura tax-xogħol kontinwu 1100 grad.

Vultaġġ (V)

220 1P

Tip ta' termokoppja

K

Element tat-tisħin

HRE Wajer tar-reżistenza tal-liga

Temp.Preċiżjoni

±1 grad

Rata tat-tisħin

0-30 grad /min aġġustament ħieles

Materjal tal-kamra

Bl-użu ta 'materjal avvanzat tal-fibra mikrokristallina tal-alumina ta' kwalità għolja

Struttura tal-forn

Struttura mkessħa bl-arja b'saff doppju, it-temperatura tal-wiċċ hija inqas minn 60 grad

Kontrollur tat-temperatura

Strument ta 'kontroll tat-temperatura PID intelliġenti, 30 segment tal-programm, kontroll SSR, funzjoni ta' awto-irfinar tal-parametru PID; żieda fit-temperatura tal-programm, preservazzjoni tas-sħana tal-programm, tkessiħ tal-programm

Provvista ta 'enerġija RF 500W

Qawwa tal-ħruġ: 5-500W ±1 grad

Frekwenza RF: 13.56MHz ±0.005%

Qawwa riflessa: sa 100W

Taqbila: Awtomatika

Interface RF: 50Ω, tip N

Tkessiħ: tkessiħ bl-arja

Provvista ta 'enerġija: AC 208-240V, 50/60HZ

4 sistema tal-fluss ta 'preċiżjoni tal-kanali tal-gass

1. Rata tal-fluss fuq skala sħiħa(5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500)ML/min. 10L/min.

2. Tip ta 'valv: Valv Solenold.

3. Pożizzjoni ta 'mistrieħ tal-valv: Normalment qrib.

4. Pressjoni differenzjali: (50-300)kpa

5. Reżistenza għall-pressjoni: 3mpa.

6. Temperatura tat-tħaddim: 5-45 grad

7. Materjali: azzar li ma jissaddadx 316L.

Sistema tal-vakwu

5*10-3Pa

KF25 konnessjoni mgħaġġla, minfaħ tal-istainless steel, valv manwali tal-flapper u flanġ, pum vakwu

Sistemi ta 'vakwu ogħla jistgħu wkoll ikunu mgħammra b'mod fakultattiv.

image001

MERĦBA OEM/ODM

 

Aċċessorji Standard

 

Ingwanti termali|Ganċ tal-griġjol|Termokoppja|Blokk tat-tubu|Manwal għall-Utent |Għodda|Pompa tal-vakwu| Tubu tal-kwarz |Fanġ |Ċirku tas-siġillar |Manka tal-gass ta' 10mm |Appoġġ tal-flanġ, Sistema tal-gass, qawwa RF.

 

Fakultattiv

 

Żona tat-tisħin differenti għall-għażla tiegħek;

LCD touch screen kontroll għall-għażla

Port RS485/USB biex tikkonnettja kompjuter għal tagħżel.

 

Stampa dettall għal CVD-PECVD

 

image003
Provvista ta 'enerġija RF 500W
image005
Sistema tal-vakwu
image007
4 sistema tal-fluss ta 'preċiżjoni tal-kanali tal-gass

 

Applikazzjoni

 

Dan l-apparat huwa prinċipalment użat għat-tkabbir tan-nanowires jew it-tħejjija ta 'diversi tkabbir ta' film irqiq bl-użu tal-metodu CVD.

 

Garanzija

 

Garanzija ta 'sena u appoġġ tekniku tul il-ħajja

Suġġerimenti speċjali:

1. Konsumabbli bħal element ta 'tisħin, tubu tal-kwarz, griġjol tal-kampjun, eċċ mhumiex fil-perjodu ta' garanzija.

2. Ħsara kkawżata mill-użu ta 'gass korrużiv u gass aċidu mhux kopert mill-garanzija.

 

It-tags Popolari: 1200c tliet tisħin żona pecvd sistema, iċ-Ċina 1200c tliet tisħin żona pecvd sistema manifatturi, fornituri