Karatteristika
● Temperatura massima RT-1200 grad
● Tip maqsuma ta 'forn, tista' tiftaħ il-forn.
● Jista 'jintroduċi aktar minn 2 kanali ta' gass, bi grad ta 'vakwu ta' 10Pa bl-użu ta 'pompa mekkanika u provvista ta' enerġija RF 500W biex ittejjeb is-sinjal.
● Materjali ta 'insulazzjoni tal-fibra taċ-ċeramika ta' l-alumina ta 'prestazzjoni ta' kwalità għolja
● Preċiżjoni tal-kontroll tat-temperatura ± 1 grad
● B'funzjoni ta 'allarm ta' temperatura żejda
● Fann li jkessaħ jista 'jnaqqas it-temperatura tal-kisi
|
Mudell |
SK2-CVD-12TPB4 |
|
Dimensjonijiet: Tul standard taż-żona tat-tisħin (mm) |
440mm |
|
Dimensjonijiet: Dijametru Standard tat-Tubu (mm) |
∮60mm |
|
Max.temperature |
1200 grad, temperatura tax-xogħol kontinwu 1100 grad. |
|
Vultaġġ (V) |
220 1P |
|
Tip ta' termokoppja |
K |
|
Element tat-tisħin |
HRE Wajer tar-reżistenza tal-liga |
|
Temp.Preċiżjoni |
±1 grad |
|
Rata tat-tisħin |
0-30 grad /min aġġustament ħieles |
|
Materjal tal-kamra |
Bl-użu ta 'materjal avvanzat tal-fibra mikrokristallina tal-alumina ta' kwalità għolja |
|
Struttura tal-forn |
Struttura mkessħa bl-arja b'saff doppju, it-temperatura tal-wiċċ hija inqas minn 60 grad |
|
Kontrollur tat-temperatura |
Strument ta 'kontroll tat-temperatura PID intelliġenti, 30 segment tal-programm, kontroll SSR, funzjoni ta' awto-irfinar tal-parametru PID; żieda fit-temperatura tal-programm, preservazzjoni tas-sħana tal-programm, tkessiħ tal-programm |
|
Provvista ta 'enerġija RF 500W |
Qawwa tal-ħruġ: 5-500W ±1 grad Frekwenza RF: 13.56MHz ±0.005% Qawwa riflessa: sa 100W Taqbila: Awtomatika Interface RF: 50Ω, tip N Tkessiħ: tkessiħ bl-arja Provvista ta 'enerġija: AC 208-240V, 50/60HZ |
|
4 sistema tal-fluss ta 'preċiżjoni tal-kanali tal-gass |
1. Rata tal-fluss fuq skala sħiħa(5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500)ML/min. 10L/min. 2. Tip ta 'valv: Valv Solenold. 3. Pożizzjoni ta 'mistrieħ tal-valv: Normalment qrib. 4. Pressjoni differenzjali: (50-300)kpa 5. Reżistenza għall-pressjoni: 3mpa. 6. Temperatura tat-tħaddim: 5-45 grad 7. Materjali: azzar li ma jissaddadx 316L. |
|
Sistema tal-vakwu |
5*10-3Pa KF25 konnessjoni mgħaġġla, minfaħ tal-istainless steel, valv manwali tal-flapper u flanġ, pum vakwu Sistemi ta 'vakwu ogħla jistgħu wkoll ikunu mgħammra b'mod fakultattiv.
|
|
MERĦBA OEM/ODM |
|
Aċċessorji Standard
Ingwanti termali|Ganċ tal-griġjol|Termokoppja|Blokk tat-tubu|Manwal għall-Utent |Għodda|Pompa tal-vakwu| Tubu tal-kwarz |Fanġ |Ċirku tas-siġillar |Manka tal-gass ta' 10mm |Appoġġ tal-flanġ, Sistema tal-gass, qawwa RF.
Fakultattiv
Żona tat-tisħin differenti għall-għażla tiegħek;
LCD touch screen kontroll għall-għażla
Port RS485/USB biex tikkonnettja kompjuter għal tagħżel.
Stampa dettall għal CVD-PECVD



Applikazzjoni
Dan l-apparat huwa prinċipalment użat għat-tkabbir tan-nanowires jew it-tħejjija ta 'diversi tkabbir ta' film irqiq bl-użu tal-metodu CVD.
Garanzija
Garanzija ta 'sena u appoġġ tekniku tul il-ħajja
Suġġerimenti speċjali:
1. Konsumabbli bħal element ta 'tisħin, tubu tal-kwarz, griġjol tal-kampjun, eċċ mhumiex fil-perjodu ta' garanzija.
2. Ħsara kkawżata mill-użu ta 'gass korrużiv u gass aċidu mhux kopert mill-garanzija.
It-tags Popolari: 1200c tliet tisħin żona pecvd sistema, iċ-Ċina 1200c tliet tisħin żona pecvd sistema manifatturi, fornituri





