Forn tat-tubu CVD (Deposizzjoni tal-Fwar Kimiku)-magħruf bis-sħiħ bħala Forn tat-Tubi tad-Depożizzjoni tal-Fwar Kimiku-huwa tip ta' tagħmir għall-ipproċessar termali użat ħafna fl-oqsma tax-xjenza u l-inġinerija tal-materjali. L-użi u l-funzjonijiet primarji tiegħu jinkludu:
Tkabbir u Depożizzjoni tal-Materjal:
Billi tintroduċi taħlita ta 'gass fil-forn, il-forn tat-tubu CVD jiffaċilita d-dekompożizzjoni tal-gassijiet f'temperaturi għoljin. L-atomi jew il-molekuli li jirriżultaw imbagħad jiddepożitaw fuq sottostrat solidu, u b'hekk jippermettu l-fabbrikazzjoni ta 'films irqaq, nanopartiċelli, u materjali avvanzati oħra.
Ipproċessar Termali:
Minbarra d-depożizzjoni tal-materjal, il-forn tat-tubu CVD jista 'jintuża għal diversi trattamenti termali-bħal kalċinazzjoni tat-trab, sinterizzazzjoni taċ-ċeramika, esperimentazzjoni f'temperatura għolja-, u ipproċessar ġenerali tal-materjal-fuq firxa wiesgħa ta' materjali, inklużi ċeramika, metalli, elettronika, ħġieġ, kimiċi, komponenti tal-makkinarju u materjali tal-kostruzzjoni, materjali speċjali, refrattorji, materjali tal-kostruzzjoni.
Preparazzjoni tal-Film Irqiq:
Dan jinkludi l-preparazzjoni ta 'films tal-metall, films semikondutturi, films ottiċi, u materjali simili. Billi tikkontrolla b'mod preċiż il-kundizzjonijiet tar-reazzjoni u l-provvista tal-materjal, jistgħu jinkisbu materjali tal-film irqiq-li għandhom proprjetajiet u strutturi speċifiċi.
Preparazzjoni nanomaterjali:
Il-forn jippermetti l-fabbrikazzjoni ta 'nanomaterjali bħal nanopartiċelli u nanowires. Billi jiġu aġġustati l-parametri tar-reazzjoni u l-materjali tas-sottostrat, nanomaterjali b'morfoloġiji u dimensjonijiet varji jistgħu jiġu sintetizzati.
Applikazzjonijiet għall-Industrija tas-Semikondutturi:
Fi ħdan l-industrija tas-semikondutturi,Fran tubu CVDgħandhom rwol ċentrali fi proċessi kritiċi bħad-depożizzjoni ta'-film irqiq, it-tindif tal-wejfers, u t-trattament tal-wiċċ.
Metallurġija tat-Trab:
It-tagħmir huwa applikabbli fil-qasam tal-metallurġija tat-trab, fejn jiffaċilita l-formazzjoni ta 'materjali metalliċi jew taċ-ċeramika permezz ta' reazzjonijiet tal-fażi tal-gass-.
Preparazzjoni tal-Materjal Ottiku:
Jippermetti s-sinteżi ta 'materjali ottiċi trasparenti, li huma sussegwentement utilizzati fil-fabbrikazzjoni ta' apparati ottiċi, kisjiet ottiċi, u komponenti simili.
Disinn Strutturali:
Il-korp tal-forn ta' forn tat-tubu CVD tipikament ikollu struttura ta' qoxra doppja-.
Fann li jkessaħ huwa installat fil-kavità bejn il-qxur ta 'ġewwa u ta' barra biex jiffaċilita ċikli rapidi ta 'tisħin u tkessiħ filwaqt li jiżgura li t-temperatura tal-wiċċ tal-qoxra tal-forn tibqa' baxxa.
It-tubu tal-forn innifsu huwa tipikament mibni minn materjali ta'-purità għolja (bħal kurundun ta'-purità għolja).
Iż-żewġt itruf tat-tubu huma ssiġillati bl-użu ta' flanġijiet ta' l-istainless steel b'vakwu għoli-biex jiżguraw issikkar-tal-gass u reżistenza robusta-t-temperatura għolja.
Kontroll tat-Temperatura u l-Atmosfera:
Is-sistema hija kapaċi tikkontrolla b'mod preċiż kemm it-temperatura interna kif ukoll il-kompożizzjoni atmosferika fi ħdan il-forn biex tissodisfa r-rekwiżiti speċifiċi ta 'diversi materjali u protokolli ta' pproċessar.
Huwa mgħammar b'sistema preċiża ta 'kontroll tal-fluss tal-gass (bħal miters tal-fluss manwali float jew kontrolluri tal-fluss tal-massa ta'{0}}preċiżjoni għolja) biex tissodisfa r-rekwiżiti speċifiċi tal-proċess assoċjati ma 'atmosferi protettivi differenti. Effiċjenza Għolja u Konservazzjoni tal-Enerġija:
Jutilizza materjali tal-kisi tal-forn ta'-effiċjenza għolja,-iffrankar tal-enerġija (bħal fibri tal-alumina polikristallina) biex ittejjeb l-effiċjenza fl-użu tal-enerġija.